Trifluorure de chlore
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Le trifluorure de chlore est un interhalogène de formule ClF3. C'est un gaz incolore, très oxydant et extrêmement réactif, corrosif et toxique, qui se condense en un liquide jaune verdâtre. C'est sous sa forme liquide pressurisée à température ambiante qu'on le trouve le plus souvent sur le marché. On s'en sert surtout dans les phases de nettoyage et pour les gravures chimiques dans l'industrie des semiconducteurs, et dans quelques autres processus industriels. Il est notamment utilisé dans le cycle du combustible nucléaire, où il permet la conversion des composés fluorés d'uranium non volatils en hexafluorure d'uranium UF6, composé aux propriétés physiques intéressantes du point de vue des procédés d'enrichissement de l'uranium :
